電子級雙氧水是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝中所必須的電子化學(xué)原料，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大集成電路裝配和加工過程中的清洗和腐蝕等方面。半導(dǎo)體硅材料純度較高，但在加工過程中，因各種原因會留下污染物，這些污染物如果不及時清理，就容易影響性能、精準(zhǔn)度，甚至報廢。電子級雙氧水對品質(zhì)要求、產(chǎn)品精度等要求都較高，通過閥切換離子色譜法可測定雙氧水中Cl-、SO42-、NO3-、PO43-等微量陰離子含量。
實驗設(shè)備
閥切換技術(shù)
閥切換技術(shù)是離子色譜中常用的在線技術(shù)，主要用于基體的消除。一般是通過切換不同類型固定相的色譜柱，利用固定相選擇性的差異富集待測離子，消除基體的干擾；或者是在固定相類型相同的色譜柱之間進(jìn)行切換。
實驗數(shù)據(jù)
標(biāo)準(zhǔn)譜圖
盛瀚閥切換技術(shù)可實現(xiàn)Cl-、SO42-、NO3-、PO43-的分離與檢測
線性譜圖
以氯離子為例，標(biāo)準(zhǔn)曲線R值為0.999948，線性良好，儀器測試穩(wěn)定性高
樣品譜圖
本方案根據(jù)樣品性質(zhì)進(jìn)行檢測，使用盛瀚CIC-D300+雙通道離子色譜，通過閥切換系統(tǒng)去除基體干擾后，待測離子進(jìn)入離子色譜進(jìn)行分析，采用抑制電導(dǎo)檢測。從測試結(jié)果可以看出待測離子峰型良好，目標(biāo)峰的響應(yīng)信號明顯，目標(biāo)峰的分離度及檢出限均滿足標(biāo)準(zhǔn)要求，采用該方案可以對雙氧水中陰離子進(jìn)行準(zhǔn)確的定性定量分析。
盛瀚專業(yè)離子色譜方案專家，半導(dǎo)體行業(yè)解決方案將定期更新半導(dǎo)體材料、制造工藝、電路板雜質(zhì)等方面的檢測。
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